マイクロ磁気センサに関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
-
マイクロ磁気センサに関する研究
- Author
-
竹澤, 昌晃
- Author(Another name)
-
タケザワ, マサアキ
- University
-
東北大学
- Types of degree
-
博士(工学)
- Grant ID
-
甲第6903号
- Degree year
-
1999-03-25
Note and Description
博士論文
博士学位論文 (Thesis(doctor))
Table of Contents
- 目次 / p1 (0004.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
- 1.1 高感度磁界計測 / p1 (0007.jp2)
- 1.2 高周波キャリア型薄膜磁界センサ / p4 (0010.jp2)
- 1.3 本論文の構成 / p10 (0016.jp2)
- 参考文献 / p12 (0018.jp2)
- 第2章 磁気異方性の制御と磁界検出特性の定式化 / p17 (0023.jp2)
- 2.1 本章の目的 / p17 (0023.jp2)
- 2.2 磁界中熱処理による磁気異方性の制御 / p18 (0024.jp2)
- 2.3 磁性薄膜の比透磁率の理論計算 / p34 (0040.jp2)
- 2.4 磁界センサ素子のインピーダンスの理論計算 / p40 (0046.jp2)
- 2.5 まとめ / p47 (0053.jp2)
- 参考文献 / p48 (0054.jp2)
- 第3章 ―軸異方性軟磁性薄膜の透磁率の外部磁界依存性 / p50 (0056.jp2)
- 3.1 本章の目的 / p50 (0056.jp2)
- 3.2 実験方法 / p51 (0057.jp2)
- 3.3 外部磁界を印加した場合の比初透磁率 / p54 (0060.jp2)
- 3.4 自然共鳴周波数付近における透磁率変化 / p85 (0091.jp2)
- 3.5 まとめ / p94 (0100.jp2)
- 参考文献 / p96 (0102.jp2)
- 第4章 短冊状磁性薄膜を用いた磁界センサ素子の基礎特性 / p98 (0104.jp2)
- 4.1 本章の目的 / p98 (0104.jp2)
- 4.2 実験方法 / p99 (0105.jp2)
- 4.3 短冊状素子の基礎特性 / p102 (0108.jp2)
- 4.4 短冊状素子の設計指針 / p124 (0130.jp2)
- 4.5 自然共鳴周波数付近における磁界検出特性 / p139 (0145.jp2)
- 4.6 まとめ / p146 (0152.jp2)
- 参考文献 / p148 (0154.jp2)
- 第5章 磁界センサ素子の高感度化 / p150 (0156.jp2)
- 5.1 本章の目的 / p150 (0156.jp2)
- 5.2 センサ素子構造の閉磁路化による高感度化 / p151 (0157.jp2)
- 5.3 LC共振を利用したセンサの高感度化 / p166 (0172.jp2)
- 5.4 ブリッジ接続によるセンサの高感度化 / p172 (0178.jp2)
- 5.5 まとめ / p197 (0203.jp2)
- 参考文献 / p199 (0205.jp2)
- 第6章 磁界センサの駆動･検出回路と磁界検出感度 / p201 (0207.jp2)
- 6.1 本章の目的 / p201 (0207.jp2)
- 6.2 実験方法 / p201 (0207.jp2)
- 6.3 外部磁界に対するセンサ出力変化 / p203 (0209.jp2)
- 6.4 電磁雑音に関する検討 / p211 (0217.jp2)
- 6.5 直流磁界の検出感度 / p219 (0225.jp2)
- 6.6 交流磁界の検出感度 / p219 (0225.jp2)
- 6.7 まとめ / p225 (0231.jp2)
- 参考文献 / p226 (0232.jp2)
- 第7章 磁界センサモジュール / p227 (0233.jp2)
- 7.1 本章の目的 / p227 (0233.jp2)
- 7.2 磁界センサ素子の産業応用 / p228 (0234.jp2)
- 7.3 磁界センサモジュールの構成 / p231 (0237.jp2)
- 7.4 磁界センサモジュールの磁界検出特性 / p236 (0242.jp2)
- 7.5 まとめ / p241 (0247.jp2)
- 参考文献 / p242 (0248.jp2)
- 第8章 結論 / p244 (0250.jp2)
- 8.1 本論文のまとめ / p244 (0250.jp2)
- 8.2 今後の課題 / p249 (0255.jp2)
- 謝辞 / p250 (0256.jp2)
- 付録A 短冊状磁界センサ素子の検出磁界指向性 / p253 (0259.jp2)
- 付録B SmCo薄膜磁石を用いた磁界バイアス方式 / p270 (0276.jp2)
- 付録C 圧電効果･静電効果を利用したマイクロ磁気センサ / p286 (0292.jp2)
