光スペクトル領域干渉を用いた反射計測法とその応用の研究
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Bibliographic Information
- Title
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光スペクトル領域干渉を用いた反射計測法とその応用の研究
- Author
-
船場, 忠幸
- Author(Another name)
-
フナバ, タダユキ
- University
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東北大学
- Types of degree
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博士(工学)
- Grant ID
-
甲第6918号
- Degree year
-
1999-03-25
Note and Description
博士論文
博士学位論文 (Thesis(doctor))
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 総論 / p1 (0006.jp2)
- 1.1 序 / p1 (0006.jp2)
- 1.2 光スペクトル領域干渉による反射計測法に関する研究の特徴と経緯 / p2 (0007.jp2)
- 1.3 研究の目的と論文の構成 / p5 (0010.jp2)
- 第2章 光スペクトル領域干渉を用いた反射計測法の原理と解析 / p8 (0013.jp2)
- 2.1 緒言 / p8 (0013.jp2)
- 2.2 光スペクトル領域干渉を用いた反射計測の原理 / p10 (0015.jp2)
- 2.3 多モードレーザの光スペクトル領域干渉と反射計測特性の解析 / p22 (0027.jp2)
- 2.4 SLDの光スペクトル領域干渉と反射計測特性の解析 / p30 (0035.jp2)
- 2.5 結言 / p37 (0042.jp2)
- 第3章 光スペクトル領域干渉を用いた反射計測法の諸特性の観測 / p38 (0043.jp2)
- 3.1 緒言 / p38 (0043.jp2)
- 3.2 多モードレーザ用いた反射計測特性の観測 / p39 (0044.jp2)
- 3.3 SLDを用いた反射計測特性の観測 / p49 (0054.jp2)
- 3.4 結言 / p58 (0063.jp2)
- 第4章 光スペクトル領域干渉を用いた反射計測法の計測応用 / p59 (0064.jp2)
- 4.1 緒言 / p59 (0064.jp2)
- 4.2 計測システムの構成と基礎特性 / p61 (0066.jp2)
- 4.3 計測結果画像化実験 / p85 (0090.jp2)
- 4.4 計測信号波形処理法の検討 / p108 (0113.jp2)
- 4.5 結言 / p119 (0124.jp2)
- 第5章 結論 / p121 (0126.jp2)
- 謝辞 / p124 (0129.jp2)
- 参考文献 / p125 (0130.jp2)