Precise silicon micromachining for microsensors and microactuators マイクロセンサ及びマイクロアクチュエータのための高精度シリコンマイクロマシニング

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著者

    • 戸田, 理作 トダ, リサク

書誌事項

タイトル

Precise silicon micromachining for microsensors and microactuators

タイトル別名

マイクロセンサ及びマイクロアクチュエータのための高精度シリコンマイクロマシニング

著者名

戸田, 理作

著者別名

トダ, リサク

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

乙第7585号

学位授与年月日

1998-09-09

注記・抄録

博士論文

目次

  1. Contents / p2 (0003.jp2)
  2. List of Figures / p4 (0005.jp2)
  3. List of Tables / p6 (0007.jp2)
  4. 1 Introduction / p1 (0009.jp2)
  5. 1.1 Overview of the dissertation / p2 (0010.jp2)
  6. 1.2 Existing fabrication methods / p3 (0011.jp2)
  7. 1.3 Microstructures for inertia sensors / p15 (0023.jp2)
  8. 1.4 Summary of this chapter / p21 (0029.jp2)
  9. 2 Three-dimensional Silicon Microstructure Fabrication Concept / p22 (0030.jp2)
  10. 2.1 Thin beam bulk micromachining process / p22 (0030.jp2)
  11. 2.2 High aspect ratio SiO₂ structures / p28 (0036.jp2)
  12. 2.3 Summary of this chapter / p29 (0037.jp2)
  13. 3 XeF₂ Etching Technology Development / p31 (0039.jp2)
  14. 3.1 What is XeF₂? / p31 (0039.jp2)
  15. 3.2 Etching method and equipment / p35 (0043.jp2)
  16. 3.3 Uniformity optimization / p37 (0045.jp2)
  17. 3.4 Aperture Effect / p43 (0051.jp2)
  18. 3.5 Surface roughness / p46 (0054.jp2)
  19. 3.6 Process automation / p46 (0054.jp2)
  20. 3.7 FT-IR in-situ monitoring / p49 (0057.jp2)
  21. 3.8 Summary of this chapter / p52 (0060.jp2)
  22. 4 Thin beam fabrication results / p53 (0061.jp2)
  23. 4.1 Thin beam bulk micromachining process / p53 (0061.jp2)
  24. 4.2 High aspect ratio SiO₂ structures / p60 (0068.jp2)
  25. 4.3 Summary of this chapter / p61 (0069.jp2)
  26. 4A Appendix:process flows / p62 (0070.jp2)
  27. 5 Applications / p67 (0075.jp2)
  28. 5.1 Gyroscope / p67 (0075.jp2)
  29. 5.2 Multiaxial accelerometer / p76 (0084.jp2)
  30. 5.3 High aspect ratio metal structures:Linear actuator / p80 (0088.jp2)
  31. 5.4 Silicon as lost-mold / p85 (0093.jp2)
  32. 5.5 Silicon as lost layer / p87 (0095.jp2)
  33. 5.6 Summary of this chapter / p90 (0098.jp2)
  34. 6 Conclusion / p92 (0100.jp2)
  35. 6.1 Summary of results / p92 (0100.jp2)
  36. 6.2 Research directions / p93 (0101.jp2)
  37. Bibliography / p95 (0103.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000171181
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000171455
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000335495
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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