完全空乏型極薄膜SOI集積回路技術に関する研究

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著者

    • 門, 勇一 カド, ユウイチ

書誌事項

タイトル

完全空乏型極薄膜SOI集積回路技術に関する研究

著者名

門, 勇一

著者別名

カド, ユウイチ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

乙第7592号

学位授与年月日

1998-10-14

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 緒言 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 本研究の背景 / p1 (0005.jp2)
  5. 1.3 本研究の目的と意義 / p6 (0008.jp2)
  6. 1.4 本論文の構成 / p9 (0009.jp2)
  7. 第1章の参考文献 / p11 (0010.jp2)
  8. 第2章 完全空乏型SOI素子形成技術と電気特性 / p12 (0011.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p12 (0011.jp2)
  10. 2.2 完全空乏型SOI素子の構造と特長 / p14 (0012.jp2)
  11. 2.3 0.25μmゲート・完全空乏型CMOS/SIMOX素子作製プ口セス / p43 (0026.jp2)
  12. 2.4 CMOS/SIMOX素子の電気的特性 / p57 (0033.jp2)
  13. 2.5 2章のまとめ / p68 (0039.jp2)
  14. 第2章の参考文献 / p69 (0039.jp2)
  15. 第3章 微細CMOS素子を用いた要素回路の高速化 / p72 (0041.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p72 (0041.jp2)
  17. 3.2 基本論理ゲート / p72 (0041.jp2)
  18. 3.3 CMOS周波数分周器 / p85 (0047.jp2)
  19. 3.4 CMOSプリスケーラ / p114 (0062.jp2)
  20. 3.5 CMOS/SIMOXマルチプレクサ/デマルチプレクサー / p131 (0070.jp2)
  21. 3.6 第3章のまとめ / p148 (0079.jp2)
  22. 第3章の参考文献 / p150 (0080.jp2)
  23. 第4章 CMOS/SIMOX素子によるゲートアレイLSIの高速化と低消費電力化 / p152 (0081.jp2)
  24. 4.1 緒言 / p152 (0081.jp2)
  25. 4.2 ゲ―トアレイの設計 / p153 (0081.jp2)
  26. 4.3 OMOS/SIMOX基本論理ゲートのダイナミック特性 / p172 (0091.jp2)
  27. 4.4 O.25μm完全空乏型OMOS/SIMOX・LSIとバルクLSIの性能比較 / p193 (0101.jp2)
  28. 4.5 低電圧・低消費電力LSI構成要素としてのCMOS/SIMOX素子の特長 / p214 (0112.jp2)
  29. 4.6 第4章のまとめ / p227 (0118.jp2)
  30. 第4章の参考文献 / p232 (0121.jp2)
  31. 第5章 CMOS/SIMOX素子による通信用LSIの低消費電力化 / p235 (0122.jp2)
  32. 5.1 緒言 / p235 (0122.jp2)
  33. 5.2 PLL・LSIの設計 / p237 (0123.jp2)
  34. 5.3 i線ステッパ露光による0.4μm同極ゲートCMOS/SIMOXプ口セスによる試作 / p257 (0133.jp2)
  35. 5.4 スタティック型プリスケーラを用いたPLL・LSIの設計 / p272 (0141.jp2)
  36. 5.5 SOR露光とKrF露光によるO.24μm同極ゲートCMOS/SIMOXプロセスによる試作 / p278 (0144.jp2)
  37. 5.6 第5章のまとめ / p286 (0148.jp2)
  38. 第5章の参考文献 / p290 (0150.jp2)
  39. 第6章 総括的結論 / p292 (0151.jp2)
  40. 謝辞 / p296 (0153.jp2)
  41. 発表論文リスト / p297 (0153.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000171188
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000171462
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000335502
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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