イオンビーム分析法によるNb/Cu多層膜の構造評価と多層膜中の水素分析に関する研究

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著者

    • 山本, 春也 ヤマモト, シュンヤ

書誌事項

タイトル

イオンビーム分析法によるNb/Cu多層膜の構造評価と多層膜中の水素分析に関する研究

著者名

山本, 春也

著者別名

ヤマモト, シュンヤ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

乙第7627号

学位授与年月日

1999-01-13

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p2 (0003.jp2)
  2. 発表論文リスト / p4 (0005.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0011.jp2)
  4. 1.1 研究の背景 / p1 (0011.jp2)
  5. 1.2 従来の研究 / p3 (0013.jp2)
  6. 1.3 本研究の目的 / p13 (0023.jp2)
  7. 1.4 本論文の構成 / p14 (0024.jp2)
  8. 第2章 高速イオンビーム分析法の原理と実験装置 / p15 (0025.jp2)
  9. 2.1 はじめに / p15 (0025.jp2)
  10. 2.2 ラザフォード後方散乱法の測定原理 / p15 (0025.jp2)
  11. 2.3 ¹⁵N共鳴核反応法の測定原理 / p23 (0033.jp2)
  12. 2.4 重イオン反跳粒子検出法の測定原理 / p25 (0035.jp2)
  13. 2.5 イオンビーム解析装置 / p29 (0039.jp2)
  14. 第3章 電子ビーム蒸着法によるNb,Cu/Nb単結晶膜の作製 / p33 (0043.jp2)
  15. 3.1 はじめに / p33 (0043.jp2)
  16. 3.2 電子ビーム蒸着法 / p34 (0044.jp2)
  17. 3.3 α-Al₂O₃基板上のNb単結晶膜の作製 / p36 (0046.jp2)
  18. 3.4 Cu/Nb単結品多層膜の成膜 / p52 (0062.jp2)
  19. 3.5 Nb/Cu/Nb単結晶多層膜の成膜 / p60 (0070.jp2)
  20. 3.6 FCC金属(Al,Pd,Ni)エピタキシーに対する単結晶Nbバッファ一層の役割 / p63 (0073.jp2)
  21. 3.7 まとめ / p67 (0077.jp2)
  22. 第4章 Cu/Nb単結晶多層膜のイオンビーム解析 / p68 (0078.jp2)
  23. 4.1 はじめに / p68 (0078.jp2)
  24. 4.2 RBS/チャネリング法によるNb,Cu/Nb単結晶膜の構造解析 / p69 (0079.jp2)
  25. 4.3 イオン励起2次電子測定による単結晶膜表面の結品性評価 / p84 (0094.jp2)
  26. 4.4 重イオンRBS法によるNb/CU多層膜の構造解析 / p91 (0101.jp2)
  27. 4.5 まとめ / p94 (0104.jp2)
  28. 第5章 ¹⁵N共鳴核反応法による水素分析 / p96 (0106.jp2)
  29. 5.1 はじめに / p96 (0106.jp2)
  30. 5.2 共鳴核反応法のおける水素濃度の定量 / p97 (0107.jp2)
  31. 5.3 ¹⁵Nのエネルギーストラグリングと阻止能の評価 / p101 (0111.jp2)
  32. 5.4 ¹⁵N共鳴核反応法によるNb/Cu多層膜中の水素濃度分布 / p105 (0115.jp2)
  33. 5.5 ¹⁵N-NRA/チャネリング法によるNb単結晶膜中の水素の格子位置の推定 / p117 (0127.jp2)
  34. 5.6 重イオン反跳粒子検出法による水素分析 / p125 (0135.jp2)
  35. 5.7 まとめ / p130 (0140.jp2)
  36. 第6章 結論 / p131 (0141.jp2)
  37. 謝辞 / p134 (0144.jp2)
  38. 参考文献 / p135 (0145.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000171223
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000171497
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000335537
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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