微細加工技術を用いた超高周波低損失弾性表面波フィルタに関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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微細加工技術を用いた超高周波低損失弾性表面波フィルタに関する研究
- 著者名
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小田川, 裕行
- 著者別名
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オダガワ, ヒロユキ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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乙第7640号
- 学位授与年月日
-
1999-02-10
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / (0003.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0005.jp2)
- 第2章 移相器を利用した一方向性変換器の高周波低損失化 / p4 (0008.jp2)
- 2.1 まえがき / p4 (0008.jp2)
- 2.2 高周波化に伴う一方向性化の必要性 / p5 (0009.jp2)
- 2.3 陽極酸化プロセスを用いた微小ギャップ･多層配線グループ型一方向性変換器 / p5 (0009.jp2)
- 2.4 あとがき / p15 (0019.jp2)
- 第3章 電極の機械的な反射を利用した一方向性変換器の高周波低損失化 / p17 (0021.jp2)
- 3.1 まえがき / p17 (0021.jp2)
- 3.2 電気化学効果による選択エッチングプロセスを用いたλ/8膜厚差型一方向性変換器 / p19 (0023.jp2)
- 3.3 斜め蒸着プロセスを用いたλ/4微小ギャップ膜厚差型一方向性変換器 / p34 (0038.jp2)
- 3.4 斜め露光プロセスを用いたλ/4一方向性変換器 / p45 (0049.jp2)
- 3.5 あとがき / p62 (0066.jp2)
- 第4章 超高結合圧電体単結晶基板による電気的な反射を利用した一方向性変換器の高周波低損失化 / p63 (0067.jp2)
- 4.1 まえがき / p63 (0067.jp2)
- 4.2 KNbO₃に適用可能な一方向性変換器 / p63 (0067.jp2)
- 4.3 あとがき / p73 (0077.jp2)
- 第5章 結論 / p74 (0078.jp2)
- 謝辞 / p77 (0080.jp2)
- 参考文献 / p78 (0081.jp2)
- 本研究に関連した発表論文 / p82 (0085.jp2)