Determination electron collision cross sections of O2 and C3F8 molecules by electron swarm study 電子スウォーム法によるO2およびC3F8分子の電子衝突断面積決定に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
Determination electron collision cross sections of O2 and C3F8 molecules by electron swarm study
- タイトル別名
-
電子スウォーム法によるO2およびC3F8分子の電子衝突断面積決定に関する研究
- 著者名
-
全, 炳勲
- 著者別名
-
ジョン, ビョフン
- 学位授与大学
-
慶応義塾大学
- 取得学位
-
博士(工学)
- 学位授与番号
-
甲第1688号
- 学位授与年月日
-
1999-03-23
注記・抄録
博士論文
目次
- 論文目録 / (0001.jp2)
- CONTENTS / p1 (0005.jp2)
- Preface / p4 (0008.jp2)
- Acknowledgments / p6 (0010.jp2)
- 1.Introduction / p1 (0012.jp2)
- 1-1 What is plasma? / p1 (0012.jp2)
- 1-2 Plasma processings / p4 (0015.jp2)
- 1-3 The methods of determination of cross sections / p9 (0020.jp2)
- 1-4 The purpose and the constitution of this thesis / p16 (0027.jp2)
- References / p18 (0029.jp2)
- 2.Experimental procedure and its theory / p20 (0031.jp2)
- 2-1 Introduction / p20 (0031.jp2)
- 2-2 Experimental apparatus / p21 (0032.jp2)
- 2-3 The theory of experiment / p23 (0034.jp2)
- 2-4 The method of experiment / p29 (0040.jp2)
- References / p32 (0043.jp2)
- 3.Electron swarm study and analyses of electron transport coefficients / p40 (0051.jp2)
- 3-1 Introduction / p40 (0051.jp2)
- 3-2 Electron swarm study using molecule-rare gas mixtures / p42 (0053.jp2)
- 3-3 The two-term approximation / p44 (0055.jp2)
- 3-4 The multi-term approximation / p51 (0062.jp2)
- References / p59 (0070.jp2)
- 4.Electron collision cross sections for O₂ molecule from electron transport coefficients in O₂-Ar mixtures and in pure O₂ / p61 (0072.jp2)
- 4-1 Introduction / p61 (0072.jp2)
- 4-2 Experimental description / p62 (0073.jp2)
- 4-3 Experimental results / p63 (0074.jp2)
- 4-4 Analyses / p70 (0081.jp2)
- 4-5 Derived cross sections for oxygen molecule / p74 (0085.jp2)
- 4-6 Conclusions / p80 (0091.jp2)
- References / p83 (0094.jp2)
- 5.Electron collision cross sections for C₃F₈ molecule from electron transport coefficients in C₃F₈-Ar mixtures / p121 (0132.jp2)
- 5-1 Introduction / p121 (0132.jp2)
- 5-2 Experiments and results / p122 (0133.jp2)
- 5-3 Analyses / p125 (0136.jp2)
- 5-4 Conclusions / p131 (0142.jp2)
- References / p132 (0143.jp2)
- 6.Conclusions / p157 (0168.jp2)
- Lists of related papers by the author / p160 (0171.jp2)