Determination electron collision cross sections of O2 and C3F8 molecules by electron swarm study 電子スウォーム法によるO2およびC3F8分子の電子衝突断面積決定に関する研究

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著者

    • 全, 炳勲 ジョン, ビョフン

書誌事項

タイトル

Determination electron collision cross sections of O2 and C3F8 molecules by electron swarm study

タイトル別名

電子スウォーム法によるO2およびC3F8分子の電子衝突断面積決定に関する研究

著者名

全, 炳勲

著者別名

ジョン, ビョフン

学位授与大学

慶応義塾大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第1688号

学位授与年月日

1999-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. CONTENTS / p1 (0005.jp2)
  3. Preface / p4 (0008.jp2)
  4. Acknowledgments / p6 (0010.jp2)
  5. 1.Introduction / p1 (0012.jp2)
  6. 1-1 What is plasma? / p1 (0012.jp2)
  7. 1-2 Plasma processings / p4 (0015.jp2)
  8. 1-3 The methods of determination of cross sections / p9 (0020.jp2)
  9. 1-4 The purpose and the constitution of this thesis / p16 (0027.jp2)
  10. References / p18 (0029.jp2)
  11. 2.Experimental procedure and its theory / p20 (0031.jp2)
  12. 2-1 Introduction / p20 (0031.jp2)
  13. 2-2 Experimental apparatus / p21 (0032.jp2)
  14. 2-3 The theory of experiment / p23 (0034.jp2)
  15. 2-4 The method of experiment / p29 (0040.jp2)
  16. References / p32 (0043.jp2)
  17. 3.Electron swarm study and analyses of electron transport coefficients / p40 (0051.jp2)
  18. 3-1 Introduction / p40 (0051.jp2)
  19. 3-2 Electron swarm study using molecule-rare gas mixtures / p42 (0053.jp2)
  20. 3-3 The two-term approximation / p44 (0055.jp2)
  21. 3-4 The multi-term approximation / p51 (0062.jp2)
  22. References / p59 (0070.jp2)
  23. 4.Electron collision cross sections for O₂ molecule from electron transport coefficients in O₂-Ar mixtures and in pure O₂ / p61 (0072.jp2)
  24. 4-1 Introduction / p61 (0072.jp2)
  25. 4-2 Experimental description / p62 (0073.jp2)
  26. 4-3 Experimental results / p63 (0074.jp2)
  27. 4-4 Analyses / p70 (0081.jp2)
  28. 4-5 Derived cross sections for oxygen molecule / p74 (0085.jp2)
  29. 4-6 Conclusions / p80 (0091.jp2)
  30. References / p83 (0094.jp2)
  31. 5.Electron collision cross sections for C₃F₈ molecule from electron transport coefficients in C₃F₈-Ar mixtures / p121 (0132.jp2)
  32. 5-1 Introduction / p121 (0132.jp2)
  33. 5-2 Experiments and results / p122 (0133.jp2)
  34. 5-3 Analyses / p125 (0136.jp2)
  35. 5-4 Conclusions / p131 (0142.jp2)
  36. References / p132 (0143.jp2)
  37. 6.Conclusions / p157 (0168.jp2)
  38. Lists of related papers by the author / p160 (0171.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000171415
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000171689
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000335729
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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