電子ビーム部分一括露光法の実用化に関する研究

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著者

    • 山下, 浩 ヤマシタ, ヒロシ

書誌事項

タイトル

電子ビーム部分一括露光法の実用化に関する研究

著者名

山下, 浩

著者別名

ヤマシタ, ヒロシ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第4786号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 本研究の背景 / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 本研究の目的 / p11 (0017.jp2)
  5. 1.3 本論文の構成 / p12 (0018.jp2)
  6. 参考文献 / p14 (0020.jp2)
  7. 第2章 電子ビーム露光技術の現状と課題 / p17 (0023.jp2)
  8. 2.1 緒言 / p17 (0023.jp2)
  9. 2.2 露光性能に影響を及ぼす主要効果 / p17 (0023.jp2)
  10. 2.3 基本露光性能を決定する要因 / p27 (0033.jp2)
  11. 2.4 電子ビーム露光技術の課題 / p30 (0036.jp2)
  12. 2.5 本研究の目標 / p31 (0037.jp2)
  13. 2.6 結言 / p31 (0037.jp2)
  14. 参考文献 / p32 (0038.jp2)
  15. 第3章 EBマスクにおける電子散乱 / p35 (0041.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p35 (0041.jp2)
  17. 3.2 マスク厚の効果 / p36 (0042.jp2)
  18. 3.3 マスクテーパ角の効果 / p45 (0051.jp2)
  19. 3.4 加速電圧の効果 / p53 (0059.jp2)
  20. 3.5 電子散乱モードの分類 / p60 (0066.jp2)
  21. 3.6 マスクの機能分類 / p62 (0068.jp2)
  22. 3.7 結言 / p67 (0073.jp2)
  23. 参考文献 / p68 (0074.jp2)
  24. 第4章 縮小投影光学系におけるクーロン効果 / p69 (0075.jp2)
  25. 4.1 緒言 / p69 (0075.jp2)
  26. 4.2 解像度のビーム電流及びパターン密度依存性 / p70 (0076.jp2)
  27. 4.3 マスク散乱電子を考慮したクーロン効果シミュレータの開発 / p81 (0087.jp2)
  28. 4.4 マスク散乱電子を考慮したクーロン効果シミュレーション / p87 (0093.jp2)
  29. 4.5 結言 / p99 (0105.jp2)
  30. 参考文献 / p100 (0106.jp2)
  31. 第5章 高精度パターン形成技術 / p102 (0108.jp2)
  32. 5.1 緒言 / p102 (0108.jp2)
  33. 5.2 クーロン効果を考慮した近接効果補正技術の開発 / p102 (0108.jp2)
  34. 5.3 補助パターンによる接続欠陥補償技術の開発 / p111 (0117.jp2)
  35. 5.4 結言 / p119 (0125.jp2)
  36. 参考文献 / p120 (0126.jp2)
  37. 第6章 4 G-bit DRAM試作への適用 / p121 (0127.jp2)
  38. 6.1 緒言 / p121 (0127.jp2)
  39. 6.2 0.15μm 4 G-bit DRAMパターン形成 / p121 (0127.jp2)
  40. 6.3 電子ビーム露光技術の高性能化検討 / p130 (0136.jp2)
  41. 6.4 次世代高速電子ビーム露光技術 / p135 (0141.jp2)
  42. 6.5 結言 / p141 (0147.jp2)
  43. 参考文献 / p142 (0148.jp2)
  44. 第7章 結論 / p146 (0152.jp2)
  45. 7.1 本研究の成果 / p146 (0152.jp2)
  46. 7.2 本研究の総括 / p147 (0153.jp2)
  47. 7.3 今後の展望 / p149 (0155.jp2)
  48. 謝辞 / p150 (0156.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000171762
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000172036
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000336076
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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