ラダー型アンテナ電極を用いた高周波プラズマの生成とその応用に関する研究

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著者

    • 村田, 正義 ムラタ, マサヨシ

書誌事項

タイトル

ラダー型アンテナ電極を用いた高周波プラズマの生成とその応用に関する研究

著者名

村田, 正義

著者別名

ムラタ, マサヨシ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士(理学)

学位授与番号

乙第6822号

学位授与年月日

1999-02-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 記号の説明 / p4 (0006.jp2)
  3. 第1章 緒言 / p1 (0009.jp2)
  4. 第2章 走査型プラズマの生成と大面積a-Si製膜への応用 / p11 (0019.jp2)
  5. 2.1 序 / p11 (0019.jp2)
  6. 2.2 実験装置および実験方法 / p11 (0019.jp2)
  7. 2.3 実験結果と考察 / p13 (0021.jp2)
  8. 2.4 まとめ / p18 (0026.jp2)
  9. 第3章 多重短冊型アンテナ(MSA)電極を用いた走査型プラズマの生成と高速a-Si製膜への応用 / p58 (0066.jp2)
  10. 3.1 序 / p58 (0066.jp2)
  11. 3.2 実験装置および実験方法 / p59 (0067.jp2)
  12. 3.3 実験結果と考察 / p60 (0068.jp2)
  13. 3.4 まとめ / p65 (0073.jp2)
  14. 第4章 回転磁場を用いた磁化プラズマの生成と高速a-Si製膜への応用 / p95 (0103.jp2)
  15. 4.1 序 / p95 (0103.jp2)
  16. 4.2 実験装置および実験方法 / p96 (0104.jp2)
  17. 4.3 実験結果と考察 / p98 (0106.jp2)
  18. 4.4 まとめ / p103 (0111.jp2)
  19. 第5章 ラダー型アンテナ電極を用いた回転磁場方式磁化プラズマの生成と高速a-Si製膜への応用 / p128 (0136.jp2)
  20. 5.1 序 / p128 (0136.jp2)
  21. 5.2 実験装置および実験方法 / p130 (0138.jp2)
  22. 5.3 実験結果と考察 / p133 (0141.jp2)
  23. 5.4 まとめ / p141 (0149.jp2)
  24. 第6章 ラダー型アンテナ電極を用いたVHFプラズマの生成と高速a-Si製膜への応用 / p162 (0170.jp2)
  25. 6.1 序 / p162 (0170.jp2)
  26. 6.2 実験装置および実験方法 / p163 (0171.jp2)
  27. 6.3 実験結果と考察 / p164 (0172.jp2)
  28. 6.4 まとめ / p173 (0181.jp2)
  29. 第7章 総括 / p189 (0197.jp2)
  30. 付録1 シランガス(SiH₄)グロー放電プラズマCVD技術の進展に関連する小史 / p196 (0204.jp2)
  31. 付録2 ラングミュアプローブによるプラズマパラメータ測定法 / p199 (0207.jp2)
  32. 付録3 VHFプラズマにおける電子のトラッピング / p205 (0213.jp2)
  33. 参考文献 / p208 (0216.jp2)
  34. 謝辞 / p215 (0223.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000171877
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000172151
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000336191
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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