ラダー型アンテナ電極を用いた高周波プラズマの生成とその応用に関する研究
Access this Article
Search this Article
Author
Bibliographic Information
- Title
-
ラダー型アンテナ電極を用いた高周波プラズマの生成とその応用に関する研究
- Author
-
村田, 正義
- Author(Another name)
-
ムラタ, マサヨシ
- University
-
九州大学
- Types of degree
-
博士(理学)
- Grant ID
-
乙第6822号
- Degree year
-
1999-02-26
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 記号の説明 / p4 (0006.jp2)
- 第1章 緒言 / p1 (0009.jp2)
- 第2章 走査型プラズマの生成と大面積a-Si製膜への応用 / p11 (0019.jp2)
- 2.1 序 / p11 (0019.jp2)
- 2.2 実験装置および実験方法 / p11 (0019.jp2)
- 2.3 実験結果と考察 / p13 (0021.jp2)
- 2.4 まとめ / p18 (0026.jp2)
- 第3章 多重短冊型アンテナ(MSA)電極を用いた走査型プラズマの生成と高速a-Si製膜への応用 / p58 (0066.jp2)
- 3.1 序 / p58 (0066.jp2)
- 3.2 実験装置および実験方法 / p59 (0067.jp2)
- 3.3 実験結果と考察 / p60 (0068.jp2)
- 3.4 まとめ / p65 (0073.jp2)
- 第4章 回転磁場を用いた磁化プラズマの生成と高速a-Si製膜への応用 / p95 (0103.jp2)
- 4.1 序 / p95 (0103.jp2)
- 4.2 実験装置および実験方法 / p96 (0104.jp2)
- 4.3 実験結果と考察 / p98 (0106.jp2)
- 4.4 まとめ / p103 (0111.jp2)
- 第5章 ラダー型アンテナ電極を用いた回転磁場方式磁化プラズマの生成と高速a-Si製膜への応用 / p128 (0136.jp2)
- 5.1 序 / p128 (0136.jp2)
- 5.2 実験装置および実験方法 / p130 (0138.jp2)
- 5.3 実験結果と考察 / p133 (0141.jp2)
- 5.4 まとめ / p141 (0149.jp2)
- 第6章 ラダー型アンテナ電極を用いたVHFプラズマの生成と高速a-Si製膜への応用 / p162 (0170.jp2)
- 6.1 序 / p162 (0170.jp2)
- 6.2 実験装置および実験方法 / p163 (0171.jp2)
- 6.3 実験結果と考察 / p164 (0172.jp2)
- 6.4 まとめ / p173 (0181.jp2)
- 第7章 総括 / p189 (0197.jp2)
- 付録1 シランガス(SiH₄)グロー放電プラズマCVD技術の進展に関連する小史 / p196 (0204.jp2)
- 付録2 ラングミュアプローブによるプラズマパラメータ測定法 / p199 (0207.jp2)
- 付録3 VHFプラズマにおける電子のトラッピング / p205 (0213.jp2)
- 参考文献 / p208 (0216.jp2)
- 謝辞 / p215 (0223.jp2)