全反射蛍光X線分析に用いられる標準試料の作製とその高精度分析への応用に関する研究

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著者

    • 森, 良弘 モリ, ヨシヒロ

書誌事項

タイトル

全反射蛍光X線分析に用いられる標準試料の作製とその高精度分析への応用に関する研究

著者名

森, 良弘

著者別名

モリ, ヨシヒロ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

乙第6852号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 TXRF法における標準試料の重要性と現状 / p1 (0006.jp2)
  3. 1-1.半導体分析分野における金属汚染の問題 / p1 (0006.jp2)
  4. 1-2. TXRF法の原理,位置づけと問題点 / p3 (0007.jp2)
  5. 1-3. TXRF用標準試料に求められる特性 / p6 (0009.jp2)
  6. 1-4.深さ方向分布が定量値に及ぼす影響(計算) / p9 (0010.jp2)
  7. 1-5.深さ方向分布が定量値に及ぼす影響(Cu吸着試料の実例) / p11 (0011.jp2)
  8. 1-6.従来の標準試料の問題点 / p15 (0013.jp2)
  9. 1-7.まとめ / p22 (0017.jp2)
  10. 【参考文献】 / p24 (0018.jp2)
  11. 第2章 アンモニア-過酸化水素水混合液(SC-1洗浄液)を用いた標準試料作製法(IAP法) / p25 (0018.jp2)
  12. 2-1.半導体工業におけるSC-1洗浄の役割とその洗浄原理 / p25 (0018.jp2)
  13. 2-2. SC-1中での各種金属の吸着現象 / p26 (0019.jp2)
  14. 2-3.化学平衡論を用いた金属吸着挙動の解析 / p27 (0019.jp2)
  15. 2-4. IAPウェハの標準試料への適合性 / p41 (0026.jp2)
  16. 2-5.標準試料への適用例 / p49 (0030.jp2)
  17. 2-6.本章のまとめ / p50 (0031.jp2)
  18. 【参考文献】 / p51 (0031.jp2)
  19. 第3章 TXRF法を用いた吸着金属深さ方向分布の評価 / p53 (0032.jp2)
  20. 3-1.実験 / p53 (0032.jp2)
  21. 3-2.深さ方向分布計算式の導出 / p54 (0033.jp2)
  22. 3-3. IAPウェハにおける吸着金属の深さ方向分布の評価 / p62 (0037.jp2)
  23. 3-4.本章のまとめ / p65 (0038.jp2)
  24. 第3章補足 / p65 (0038.jp2)
  25. 【参考文献】 / p66 (0039.jp2)
  26. 第4章 IAPウェハのクロスチェック試料としての応用 / p67 (0039.jp2)
  27. 4-1.複数機関によるAASのクロスチェック(Ni) / p68 (0040.jp2)
  28. 4-2.複数機関によるAASのクロスチェック(Fe,Cu,Zn) / p70 (0041.jp2)
  29. 4-3.複数機関によるTXRFのクロスチェック(Ni) / p72 (0042.jp2)
  30. 4-4.複数機関によるTXRFのクロスチェック(Fe,Cu,Zn) / p76 (0044.jp2)
  31. 4-5.複数機関によるTXRF,AAS,ICP-MS,NAAのクロスチェック / p78 (0045.jp2)
  32. 4-6.本章のまとめ / p85 (0048.jp2)
  33. 第4章補足 / p86 (0049.jp2)
  34. 【参考文献】 / p88 (0050.jp2)
  35. 第5章 IAPウェハを用いた低濃度高精度定量分析 / p89 (0050.jp2)
  36. 5-1.実験 / p89 (0050.jp2)
  37. 5-2.結果 / p92 (0052.jp2)
  38. 5-3.考察 / p96 (0054.jp2)
  39. 5-4.本章のまとめ / p102 (0057.jp2)
  40. 【参考文献】 / p104 (0058.jp2)
  41. 第6章 総括 / p105 (0058.jp2)
  42. 謝辞 / (0060.jp2)
5アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000171907
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000172181
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000336221
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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