Ar,SiH4ガスRF非平衡プラズマの過渡応答解析

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著者

    • 楊, 靖 ヨウ, セイ

書誌事項

タイトル

Ar,SiH4ガスRF非平衡プラズマの過渡応答解析

著者名

楊, 靖

著者別名

ヨウ, セイ

学位授与大学

北海道大学

取得学位

博士(理学)

学位授与番号

甲第4766号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 緒言 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 RF非平衡プラズマ / p2 (0006.jp2)
  5. 1.3 RF電界における荷電粒子の応答 / p4 (0008.jp2)
  6. 1.4 プラズマ過渡応答に関する在来の研究 / p4 (0008.jp2)
  7. 1.5 本論文の目的および構成 / p6 (0010.jp2)
  8. 第2章 シミュレーション方法 / p9 (0013.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p9 (0013.jp2)
  10. 2.2 基礎方程式 / p11 (0015.jp2)
  11. 2.3 境界条件の設定方法 / p12 (0016.jp2)
  12. 2.4 電極表面からの二次電子放出 / p15 (0019.jp2)
  13. 2.5 数値計算方法 / p16 (0020.jp2)
  14. 2.6 励起回路系 / p17 (0021.jp2)
  15. 第3章 Arプラズマのステップ応答 / p24 (0028.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p24 (0028.jp2)
  17. 3.2 シミュレーション条件 / p24 (0028.jp2)
  18. 3.3 シミュレーション結果及び検討 / p26 (0030.jp2)
  19. 3.4 結言 / p56 (0060.jp2)
  20. 第4章 SiH₄プラズマのステップ応答 / p58 (0062.jp2)
  21. 4.1 緒言 / p58 (0062.jp2)
  22. 4.2 シミュレーション条件 / p59 (0063.jp2)
  23. 4.3 シミュレーション結果及び検討 / p63 (0067.jp2)
  24. 4.4 結言 / p97 (0101.jp2)
  25. 第5章 Ar、SiH₄プラズマのパルス応答の解析 / p99 (0103.jp2)
  26. 5.1 緒言 / p99 (0103.jp2)
  27. 5.2 シミュレーション条件 / p99 (0103.jp2)
  28. 5.3 シミュレーション結果及び検討 / p103 (0107.jp2)
  29. 5.4 結言 / p120 (0124.jp2)
  30. 第6章 結論 / p122 (0126.jp2)
  31. 付録 / p1 (0128.jp2)
  32. 謝辞 / (0134.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000172324
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000172599
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000336638
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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