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高密度反応性プラズマにおける負イオンの生成と診断

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著者

    • 林, 大雄 ハヤシ, ダイユウ

書誌事項

タイトル

高密度反応性プラズマにおける負イオンの生成と診断

著者名

林, 大雄

著者別名

ハヤシ, ダイユウ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第4284号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0004.jp2)
  3. 1.1 反応性プラズマにおける負イオン研究の現状 / p1 (0004.jp2)
  4. 1.2 酸素プラズマ中の負イオン / p4 (0006.jp2)
  5. 1.3 ハロゲン系プラズマ中の負イオン / p5 (0006.jp2)
  6. 1.4 研究の意義・目的 / p5 (0006.jp2)
  7. 1.5 本論文の構成 / p6 (0007.jp2)
  8. 第2章 レーザー光脱離法による負イオン密度の測定 / p9 (0008.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p9 (0008.jp2)
  10. 2.2 実験装置 / p9 (0008.jp2)
  11. 2.3 レーザー光脱離法の原理とその測定系 / p13 (0010.jp2)
  12. 2.4 酸素負イオン密度の測定 / p15 (0011.jp2)
  13. 2.5 フッ素負イオン密度の測定 / p20 (0014.jp2)
  14. 第3章 酸素プラズマにおける負イオンの生成・消滅過程 / p23 (0015.jp2)
  15. 3.1 緒言 / p23 (0015.jp2)
  16. 3.2 酸素プラズマにおける負イオン密度の測定 / p23 (0015.jp2)
  17. 3.3 高励起準安定酸素分子への解離性電子付着 / p35 (0021.jp2)
  18. 3.4 計算から求めた電子付着周波数と実験結果との比較 / p43 (0025.jp2)
  19. 3.5 アフターグローにおける負イオンの生成・消滅機構 / p47 (0027.jp2)
  20. 3.6 結言 / p47 (0027.jp2)
  21. 第4章 酸素プラズマにおける負イオンの反応・輸送機構 / p51 (0029.jp2)
  22. 4.1 緒言 / p51 (0029.jp2)
  23. 4.2 負イオン密度の空間分布とその時間的変化 / p51 (0029.jp2)
  24. 4.3 負イオンの輸送過程と生成・消滅機構 / p55 (0031.jp2)
  25. 4.4 結言 / p61 (0034.jp2)
  26. 第5章 CF₄プラズマ中における負イオンの生成・消滅機構 / p64 (0036.jp2)
  27. 5.1 緒言 / p64 (0036.jp2)
  28. 5.2 プラズマ中心における負イオン密度の測定 / p65 (0036.jp2)
  29. 5.3 フッ素負イオンの生成・消滅機構 / p67 (0037.jp2)
  30. 5.4 フッ素負イオン密度の空間分布 / p74 (0041.jp2)
  31. 5.5 結言 / p78 (0043.jp2)
  32. 第6章 フッ素負イオン生成における反応生成分子の役割 / p80 (0044.jp2)
  33. 6.1 緒言 / p80 (0044.jp2)
  34. 6.2 フッ素負イオン生成の反応モデル / p81 (0044.jp2)
  35. 6.3 放電中におけるフッ素負イオン生成 / p82 (0045.jp2)
  36. 6.4 アフターグローにおけるフッ素イオン生成 / p86 (0047.jp2)
  37. 6.5 反応生成分子への解離性電子付着によるF-生成 / p91 (0049.jp2)
  38. 6.6 結言 / p96 (0052.jp2)
  39. 第7章 総括 / p98 (0053.jp2)
  40. 7.1 本研究のまとめ / p98 (0053.jp2)
  41. 7.2 今後の課題 / p101 (0054.jp2)
  42. 付録A レーザー光脱離法に用いたレーザービーム径の決定 / p103 (0055.jp2)
  43. 付録B 光脱離電子電流のプローブ電圧に対する依存性 / p104 (0056.jp2)
  44. 付録C 負イオンが存在するプラズマ中における両極性拡散係数 / p106 (0057.jp2)
  45. 謝辞 / p108 (0058.jp2)
  46. 研究業績 / p109 (0058.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000172987
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000173263
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000337301
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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