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LCD用AI配線におけるウィスカーに関する透過電子顕微鏡的研究

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著者

    • 辻本, 勝浩 ツジモト, カツヒロ

書誌事項

タイトル

LCD用AI配線におけるウィスカーに関する透過電子顕微鏡的研究

著者名

辻本, 勝浩

著者別名

ツジモト, カツヒロ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第4310号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 緒言 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 薄膜トランジスタの断面構造 / p1 (0006.jp2)
  5. 1.3 Al配線材料の課題 / p4 (0009.jp2)
  6. 1.4 Al配線材料の課題解決のための研究開発 / p8 (0013.jp2)
  7. 1.5 本研究の目的と課題 / p12 (0017.jp2)
  8. 1.6 本論文の構成 / p12 (0017.jp2)
  9. 参考文献 / p15 (0020.jp2)
  10. 第2章 超高圧電子顕微鏡を用いたAlウィスカーのin­-situ加熱観察 / p17 (0022.jp2)
  11. 2.1序論 / p17 (0022.jp2)
  12. 2.2 実験方法 / p19 (0024.jp2)
  13. 2.3 結果 / p26 (0031.jp2)
  14. 2.4 結 論 / p33 (0038.jp2)
  15. 参考文献 / p40 (0045.jp2)
  16. 第3章 Alウィスカーの断面TEM観察 / p41 (0046.jp2)
  17. 3.1 序論 / p41 (0046.jp2)
  18. 3.2 実験方法 / p42 (0047.jp2)
  19. 3.3 結果 / p49 (0054.jp2)
  20. 3.4 結論 / p55 (0060.jp2)
  21. 参考文献 / p59 (0064.jp2)
  22. 第4章 Alウィスカーの平面TEM観察 / p60 (0065.jp2)
  23. 4.1 序論 / p60 (0065.jp2)
  24. 4.2 実験方法 / p60 (0065.jp2)
  25. 4.3 結果 / p61 (0066.jp2)
  26. 4.4 結論 / p79 (0084.jp2)
  27. 参考文献 / p81 (0086.jp2)
  28. 第5章 圧痕印可法によるAl膜のストレスマイグレーション評価 / p82 (0087.jp2)
  29. 5.1 序論 / p82 (0087.jp2)
  30. 5.2 実験方法 / p82 (0087.jp2)
  31. 5.3 結果 / p83 (0088.jp2)
  32. 5.4 有限要素法による解析 / p89 (0094.jp2)
  33. 5.5 結論 / p96 (0101.jp2)
  34. 参考文献 / p103 (0108.jp2)
  35. 第6章 AIウィスカーの抑制 / p104 (0109.jp2)
  36. 6.1 序論 / p104 (0109.jp2)
  37. 6.2 実験方法 / p104 (0109.jp2)
  38. 6.3 結果 / p106 (0111.jp2)
  39. 6.4 考察 / p112 (0117.jp2)
  40. 参考文献 / p121 (0126.jp2)
  41. 第7章 ウィスカーの発生・成長機構の考察 / p122 (0127.jp2)
  42. 7.1 ウィスカーの分類 / p122 (0127.jp2)
  43. 7.2 これまでに提唱されているウィスカーの成長機構 / p122 (0127.jp2)
  44. 7.3 ウィスカーの発生・成長の機構 / p123 (0128.jp2)
  45. 参考文献 / p129 (0134.jp2)
  46. 第8章 総括 / p130 (0135.jp2)
  47. 謝辞 / p135 (0140.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000173013
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000173289
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000337327
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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