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シリコン単結晶中の酸素濃度に与えるアルゴンガスの流れの影響に関する研究

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著者

    • 町田, 倫久 マチダ, ノリヒサ

書誌事項

タイトル

シリコン単結晶中の酸素濃度に与えるアルゴンガスの流れの影響に関する研究

著者名

町田, 倫久

著者別名

マチダ, ノリヒサ

学位授与大学

信州大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第179号

学位授与年月日

1999-03-20

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 研究の背景 / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 本研究の目的 / p3 (0008.jp2)
  5. 1.3 本論文の構成 / p4 (0009.jp2)
  6. 1.4 第1章の参考文献 / p7 (0010.jp2)
  7. 第2章 シリコン単結晶成長技術と酸素濃度制御技術 / p8 (0011.jp2)
  8. 2.1 シリコン単結晶成長技術 / p8 (0011.jp2)
  9. 2.2 シリコン単結晶中の酸素濃度 / p13 (0015.jp2)
  10. 2.3 酸素濃度制御技術 / p23 (0022.jp2)
  11. 2.4 数値解析による酸素濃度の予測 / p27 (0024.jp2)
  12. 2.5 雰囲気ガスが酸素濃度に与える影響 / p31 (0026.jp2)
  13. 2.6 第2章のまとめ / p33 (0027.jp2)
  14. 2.7 第2章の参考文献 / p33 (0027.jp2)
  15. 第3章 シリコン単結晶中の酸素濃度に及ぼすアルゴンガスの流れの影響に関する数値解析 / p38 (0029.jp2)
  16. 3.1 アルゴンガスの流れにおける主影響因子の検討 / p38 (0029.jp2)
  17. 3.2 数値解析による引上炉内の熱的境界条件の計算 / p48 (0034.jp2)
  18. 3.3 数値解析によるアルゴンガスの流速分布の計算 / p59 (0042.jp2)
  19. 3.4 数値解析によるシリコンメルトの対流に関する計算 / p67 (0048.jp2)
  20. 3.5 シリコンメルトの対流パターンとシリコン単結晶中の酸素濃度との関係 / p84 (0056.jp2)
  21. 3.6 第3章のまとめ / p88 (0058.jp2)
  22. 3.7 第3章の参考文献 / p90 (0059.jp2)
  23. 第4章 代理物実験によるアルゴンガスの剪断応力に関する評価方法の検討 / p93 (0061.jp2)
  24. 4.1 アルゴンガスの剪断応力の評価方法 / p93 (0061.jp2)
  25. 4.2 代理物実験方法 / p94 (0061.jp2)
  26. 4.3 代理物実験と数値解析との結果の比較 / p95 (0062.jp2)
  27. 4.4 第4章のまとめ / p109 (0073.jp2)
  28. 4.5 第4章の参考文献 / p112 (0075.jp2)
  29. 第5章 従来型ガス整流治具を用いたシリコン単結晶引上実験 / p114 (0076.jp2)
  30. 5.1 従来型ガス整流治具 / p114 (0076.jp2)
  31. 5.2 オープンタイプホットゾーンによるCZ法シリコン単結晶引上実験 / p116 (0077.jp2)
  32. 5.3 従来型ガス整流治具を用いたCZ法シリコン単結晶引上実験 / p120 (0079.jp2)
  33. 5.4 従来型ガス整流治具を用いたTMCZ法シリコン単結晶引上実験 / p124 (0081.jp2)
  34. 5.5 シリコン単結晶中の酸素濃度とアルゴンガスの剪断応力の関係 / p127 (0082.jp2)
  35. 5.6 第5章のまとめ / p132 (0085.jp2)
  36. 5.7 第5章の参考文献 / p134 (0086.jp2)
  37. 第6章 改良型ガス整流治具を用いたシリコン単結晶引上実験 / p135 (0086.jp2)
  38. 6.1 改良型ガス整流治具の設計 / p135 (0086.jp2)
  39. 6.2 改良型ガス整流治具を用いたシリコン単結晶引上実験 / p136 (0087.jp2)
  40. 6.3 改良型ガス整流治具の効果 / p140 (0089.jp2)
  41. 6.4 アルゴンガスの剪断応力効果におけるシリコン単結晶固化率依存性 / p143 (0090.jp2)
  42. 6.5 第6章のまとめ / p144 (0091.jp2)
  43. 6.6 第6章の参考文献 / p144 (0091.jp2)
  44. 第7章 結論 / p145 (0091.jp2)
  45. 謝辞 / p149 (0093.jp2)
  46. 研究業績 / p151 (0094.jp2)
  47. 付録 / p153 (0095.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000174414
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000174690
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000338728
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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