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グラヴィメトリックおよび光学的その場測定法を用いたGaAs原子層エピタキシーの成長過程に関する研究

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著者

    • 瀧, 哲也 タキ, テツヤ

書誌事項

タイトル

グラヴィメトリックおよび光学的その場測定法を用いたGaAs原子層エピタキシーの成長過程に関する研究

著者名

瀧, 哲也

著者別名

タキ, テツヤ

学位授与大学

東京農工大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第203号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. Contents / p1 (0003.jp2)
  2. Chapter1. Introduction / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 Introduction / p2 (0006.jp2)
  4. 1.2 References / p6 (0010.jp2)
  5. Chapter2. Experimental methods / p7 (0011.jp2)
  6. 2.1 Introduction / p8 (0012.jp2)
  7. 2.2 Atomic layer epitaxy(ALE) / p8 (0012.jp2)
  8. 2.3 In situ gravimetric monitoring / p10 (0014.jp2)
  9. 2.4 Surface photoabsorption(SPA) / p11 (0015.jp2)
  10. 2.5 References / p12 (0016.jp2)
  11. Chapter3. Atomic layer epitaxy of GaAs using GaBr and GaI sources / p13 (0017.jp2)
  12. 3.1 Introduction / p14 (0018.jp2)
  13. 3.2 Experimental procedure / p14 (0018.jp2)
  14. 3.3 Results and discussion / p15 (0019.jp2)
  15. 3.4 Conclusions / p22 (0026.jp2)
  16. 3.5 References / p23 (0027.jp2)
  17. Chapter4. Hydrogen chemisorption on the GaAs(OO1)Ga surface / p24 (0028.jp2)
  18. 4.1 Introduction / p25 (0029.jp2)
  19. 4.2 Experimental procedure / p25 (0029.jp2)
  20. 4.3 Results and discussion / p26 (0030.jp2)
  21. 4.4 Conclusions / p34 (0038.jp2)
  22. 4.5 References / p35 (0039.jp2)
  23. Chapter5. Hydrogen chemisorption on the GaAs(111)B Ga surface / p36 (0040.jp2)
  24. 5.1 Introduction / p37 (0041.jp2)
  25. 5.2 Experimental procedure / p37 (0041.jp2)
  26. 5.3 Results and discussion / p38 (0042.jp2)
  27. 5.4 Conclusions / p51 (0055.jp2)
  28. 5.5 References / p51 (0055.jp2)
  29. Chapter6. Arsenic desorption from the GaAs(111)B As surface / p52 (0056.jp2)
  30. 6.1 Introduction / p53 (0057.jp2)
  31. 6.2 Experimental procedure / p54 (0058.jp2)
  32. 6.3 Results and discussion / p54 (0058.jp2)
  33. 6.4 Conclusions / p65 (0069.jp2)
  34. 6.5 References / p66 (0070.jp2)
  35. Chapter7. Conclusions / p67 (0071.jp2)
  36. Acknowledgments / p70 (0074.jp2)
  37. Papers list / p72 (0076.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000174860
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000175137
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000339174
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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