イオン化蒸着法によるダイヤモンド状カーボン薄膜の作製と物性
この論文にアクセスする
この論文をさがす
著者
書誌事項
- タイトル
-
イオン化蒸着法によるダイヤモンド状カーボン薄膜の作製と物性
- 著者名
-
毛利, 敏男
- 著者別名
-
モウリ, トシオ
- 学位授与大学
-
東京農工大学
- 取得学位
-
博士(工学)
- 学位授与番号
-
乙第44号
- 学位授与年月日
-
1999-03-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0005.jp2)
- 1-1 目的と経過 / p1 (0005.jp2)
- 1-2 本論文の構成と要点 / p4 (0007.jp2)
- 文献 / p7 (0008.jp2)
- 第2章 イオンを用いたDLC膜の形成法の背景 / p8 (0009.jp2)
- 2-1 イオンを用いた蒸着法 / p8 (0009.jp2)
- 2-2 ダイヤモンド膜及びDLC膜の作製法 / p10 (0010.jp2)
- 文献 / p19 (0014.jp2)
- 第3章 DLC膜作製用のイオン化蒸着装置開発 / p21 (0015.jp2)
- 3-1 イオン化蒸着装置の構造 / p21 (0015.jp2)
- 3-2 イオン化蒸着装置の電気回路及び電気特性 / p28 (0019.jp2)
- 3-3 成膜状況下での基板電圧上昇によるイオン電流密度変化 / p40 (0025.jp2)
- 3-4 成膜の蒸着速度 / p43 (0026.jp2)
- 3-5 成膜中の基板温度上昇 / p46 (0028.jp2)
- 3-6 成膜中のイオン成分 / p48 (0029.jp2)
- 3-7 成膜のイオン化率 / p49 (0029.jp2)
- 3-8 イオン化蒸着法のDLC膜作製条件 / p49 (0029.jp2)
- 文献 / p51 (0030.jp2)
- 第4章 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の硬度測定 / p52 (0031.jp2)
- 4-1 硬度測定 / p52 (0031.jp2)
- 4-2 マイクロビッカース硬度測定法 / p53 (0031.jp2)
- 4-3 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の硬度測定結果 / p56 (0033.jp2)
- 文献 / p70 (0040.jp2)
- 第5章 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の電気的測定 / p71 (0040.jp2)
- 5-1 電気抵抗率測定 / p71 (0040.jp2)
- 5-2 比誘電率測定 / p75 (0042.jp2)
- 文献 / p81 (0045.jp2)
- 第6章 分光エリプソメトリーによるイオン化蒸着法で作製したDLC膜の光学的測定 / p82 (0046.jp2)
- 6-1 分光エリプソメトリーによる光学定数測定 / p82 (0046.jp2)
- 6-2 分光エリプソメトリーによるDLC膜の膜質解析 / p84 (0047.jp2)
- 6-3 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の屈折率nと消光係数kの測定結果 / p89 (0049.jp2)
- 6-4 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の光学的エネルギーギャプの測定結果 / p92 (0051.jp2)
- 文献 / p97 (0053.jp2)
- 第7章 赤外吸収分光とラマン分光によるイオン化蒸着法で作製したDLC膜構造分析 / p98 (0054.jp2)
- 7-1 赤外吸収分光分析法 / p98 (0054.jp2)
- 7-2 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の赤外吸収スペクトル / p100 (0055.jp2)
- 7-3 ラマン分光分析 / p105 (0057.jp2)
- 文献 / p111 (0060.jp2)
- 第8章 結論 / p112 (0061.jp2)
- 8-1 第1章から第7章までの結論 / p113 (0061.jp2)
- 8-2 本論文の結論 / p118 (0064.jp2)
- 文献 / p119 (0064.jp2)
- 謝辞 / p120 (0065.jp2)
- 論文目録 / p121 (0065.jp2)
