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イオン化蒸着法によるダイヤモンド状カーボン薄膜の作製と物性

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著者

    • 毛利, 敏男 モウリ, トシオ

書誌事項

タイトル

イオン化蒸着法によるダイヤモンド状カーボン薄膜の作製と物性

著者名

毛利, 敏男

著者別名

モウリ, トシオ

学位授与大学

東京農工大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

乙第44号

学位授与年月日

1999-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1-1 目的と経過 / p1 (0005.jp2)
  4. 1-2 本論文の構成と要点 / p4 (0007.jp2)
  5. 文献 / p7 (0008.jp2)
  6. 第2章 イオンを用いたDLC膜の形成法の背景 / p8 (0009.jp2)
  7. 2-1 イオンを用いた蒸着法 / p8 (0009.jp2)
  8. 2-2 ダイヤモンド膜及びDLC膜の作製法 / p10 (0010.jp2)
  9. 文献 / p19 (0014.jp2)
  10. 第3章 DLC膜作製用のイオン化蒸着装置開発 / p21 (0015.jp2)
  11. 3-1 イオン化蒸着装置の構造 / p21 (0015.jp2)
  12. 3-2 イオン化蒸着装置の電気回路及び電気特性 / p28 (0019.jp2)
  13. 3-3 成膜状況下での基板電圧上昇によるイオン電流密度変化 / p40 (0025.jp2)
  14. 3-4 成膜の蒸着速度 / p43 (0026.jp2)
  15. 3-5 成膜中の基板温度上昇 / p46 (0028.jp2)
  16. 3-6 成膜中のイオン成分 / p48 (0029.jp2)
  17. 3-7 成膜のイオン化率 / p49 (0029.jp2)
  18. 3-8 イオン化蒸着法のDLC膜作製条件 / p49 (0029.jp2)
  19. 文献 / p51 (0030.jp2)
  20. 第4章 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の硬度測定 / p52 (0031.jp2)
  21. 4-1 硬度測定 / p52 (0031.jp2)
  22. 4-2 マイクロビッカース硬度測定法 / p53 (0031.jp2)
  23. 4-3 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の硬度測定結果 / p56 (0033.jp2)
  24. 文献 / p70 (0040.jp2)
  25. 第5章 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の電気的測定 / p71 (0040.jp2)
  26. 5-1 電気抵抗率測定 / p71 (0040.jp2)
  27. 5-2 比誘電率測定 / p75 (0042.jp2)
  28. 文献 / p81 (0045.jp2)
  29. 第6章 分光エリプソメトリーによるイオン化蒸着法で作製したDLC膜の光学的測定 / p82 (0046.jp2)
  30. 6-1 分光エリプソメトリーによる光学定数測定 / p82 (0046.jp2)
  31. 6-2 分光エリプソメトリーによるDLC膜の膜質解析 / p84 (0047.jp2)
  32. 6-3 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の屈折率nと消光係数kの測定結果 / p89 (0049.jp2)
  33. 6-4 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の光学的エネルギーギャプの測定結果 / p92 (0051.jp2)
  34. 文献 / p97 (0053.jp2)
  35. 第7章 赤外吸収分光とラマン分光によるイオン化蒸着法で作製したDLC膜構造分析 / p98 (0054.jp2)
  36. 7-1 赤外吸収分光分析法 / p98 (0054.jp2)
  37. 7-2 イオン化蒸着法で作製したDLC膜の赤外吸収スペクトル / p100 (0055.jp2)
  38. 7-3 ラマン分光分析 / p105 (0057.jp2)
  39. 文献 / p111 (0060.jp2)
  40. 第8章 結論 / p112 (0061.jp2)
  41. 8-1 第1章から第7章までの結論 / p113 (0061.jp2)
  42. 8-2 本論文の結論 / p118 (0064.jp2)
  43. 文献 / p119 (0064.jp2)
  44. 謝辞 / p120 (0065.jp2)
  45. 論文目録 / p121 (0065.jp2)
6アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000174897
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000175174
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000339211
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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