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多結晶シリコン薄膜抵抗に対する外部環境の影響に関する研究 タケッショウ シリコン ハクマク テイコウ ニ タイスル ガイブ カンキョウ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ A study of influence due to the external evironments on electrical performance in polycrystalline silicon thin film resistors

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著者

    • 中林, 正和 ナカバヤシ, マサカズ

書誌事項

タイトル

多結晶シリコン薄膜抵抗に対する外部環境の影響に関する研究

タイトル別名

タケッショウ シリコン ハクマク テイコウ ニ タイスル ガイブ カンキョウ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ

タイトル別名

A study of influence due to the external evironments on electrical performance in polycrystalline silicon thin film resistors

著者名

中林, 正和

著者別名

ナカバヤシ, マサカズ

学位授与大学

熊本大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第164号

学位授与年月日

2002-03-22

注記・抄録

博士論文

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000230052
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000230548
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004095944
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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