多結晶シリコン薄膜抵抗に対する外部環境の影響に関する研究 A study of influence due to the external evironments on electrical performance in polycrystalline silicon thin film resistors タケッショウ シリコン ハクマク テイコウ ニ タイスル ガイブ カンキョウ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
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Bibliographic Information
- Title
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多結晶シリコン薄膜抵抗に対する外部環境の影響に関する研究
- Other Title
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A study of influence due to the external evironments on electrical performance in polycrystalline silicon thin film resistors
- Other Title
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タケッショウ シリコン ハクマク テイコウ ニ タイスル ガイブ カンキョウ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author
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中林, 正和
- Author(Another name)
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ナカバヤシ, マサカズ
- University
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熊本大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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甲第164号
- Degree year
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2002-03-22
Note and Description
博士論文