DVD原盤露光装置用ステージ位置制御に関する研究 : 粗微動による超精密軌跡制御と次世代姿勢センシング要素技術

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著者

    • 佐久田, 茂 サクタ, シゲル

書誌事項

タイトル

DVD原盤露光装置用ステージ位置制御に関する研究 : 粗微動による超精密軌跡制御と次世代姿勢センシング要素技術

著者名

佐久田, 茂

著者別名

サクタ, シゲル

学位授与大学

東京大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第15151号

学位授与年月日

2001-09-20

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000230316
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000230813
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004105838
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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