Study of particle transport in high pressure sputter deposition process 高圧スパッタ製膜プロセスにおける粒子輸送過程の研究

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著者

    • 中野, 武雄 ナカノ, タケオ

書誌事項

タイトル

Study of particle transport in high pressure sputter deposition process

タイトル別名

高圧スパッタ製膜プロセスにおける粒子輸送過程の研究

著者名

中野, 武雄

著者別名

ナカノ, タケオ

学位授与大学

東京大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第15210号

学位授与年月日

2001-12-14

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000230375
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000230872
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000004106142
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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