ハイアスペクト比マイクロ部品用形状測定技術の開発

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著者

    • 山本, 正樹 ヤマモト, マサキ

書誌事項

タイトル

ハイアスペクト比マイクロ部品用形状測定技術の開発

著者名

山本, 正樹

著者別名

ヤマモト, マサキ

学位授与大学

東京大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第15305号

学位授与年月日

2002-03-14

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000230470
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000230968
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004107526
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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