三次元微細厚膜シリコン-セラミックス構造体創成における加工・接合プロセスに関する研究

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Author

    • 後藤, 友彰 ゴトウ, トモアキ

Bibliographic Information

Title

三次元微細厚膜シリコン-セラミックス構造体創成における加工・接合プロセスに関する研究

Author

後藤, 友彰

Author(Another name)

ゴトウ, トモアキ

University

大阪大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

甲第9242号

Degree year

2003-03-25

Note and Description

博士論文

1access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000231829
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000232349
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000004137659
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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