Multi-objective capacity planning for semiconductor wafer fabrication 半導体ウェハ製造のための多目的設備能力計画手法に関する研究

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Author

    • 岩田, 義雄 イワタ, ヨシオ

Bibliographic Information

Title

Multi-objective capacity planning for semiconductor wafer fabrication

Other Title

半導体ウェハ製造のための多目的設備能力計画手法に関する研究

Author

岩田, 義雄

Author(Another name)

イワタ, ヨシオ

University

大阪大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

甲第9294号

Degree year

2003-03-25

Note and Description

博士論文

2access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000231881
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000232402
  • Text Lang
    • eng
  • NDLBibID
    • 000004138397
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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