Development of subpicosecond pulse radiolysis system and its application to investigation of radiation-induced reactions in chemically amplified resists サブピコ秒パルスラジオリシス装置の開発と化学増幅型レジスト中に誘起される放射線化学反応研究への応用

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

    • 古澤, 孝弘 コザワ, タカヒロ

書誌事項

タイトル

Development of subpicosecond pulse radiolysis system and its application to investigation of radiation-induced reactions in chemically amplified resists

タイトル別名

サブピコ秒パルスラジオリシス装置の開発と化学増幅型レジスト中に誘起される放射線化学反応研究への応用

著者名

古澤, 孝弘

著者別名

コザワ, タカヒロ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第8585号

学位授与年月日

2003-01-24

注記・抄録

博士論文

14401乙第08585号

博士(工学)

大阪大学

2003-01-24

17392

0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000231933
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000232455
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000004139515
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
ページトップへ