光リソグラフィにおける加工寸法の高精度化に関する研究

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Author

    • 吉野, 宏 ヨシノ, ヒロシ

Bibliographic Information

Title

光リソグラフィにおける加工寸法の高精度化に関する研究

Author

吉野, 宏

Author(Another name)

ヨシノ, ヒロシ

University

大阪大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

乙第8586号

Degree year

2003-01-24

Note and Description

博士論文

5access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000231934
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000232456
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000004139520
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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