プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 : 超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作 プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニヨル チョウ セイミツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ チョウ ハクマク SOI Silicon on Insulator ウエハ ノ セイサク

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著者

    • 佐野, 泰久 サノ, ヤスヒサ

書誌事項

タイトル

プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 : 超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作

タイトル別名

プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニヨル チョウ セイミツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ チョウ ハクマク SOI Silicon on Insulator ウエハ ノ セイサク

著者名

佐野, 泰久

著者別名

サノ, ヤスヒサ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第8588号

学位授与年月日

2003-01-24

注記・抄録

博士論文

14401乙第08588号

博士(工学)

大阪大学

2003-01-24

17395

4アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000231936
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000232458
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004139526
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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