被覆工具用α-Al2O3CVD膜のエピタキシャル成長と高密着性に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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被覆工具用α-Al2O3CVD膜のエピタキシャル成長と高密着性に関する研究
- Author
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石井, 敏夫
- Author(Another name)
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イシイ, トシオ
- University
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大阪大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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乙第8598号
- Degree year
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2003-01-24
Note and Description
博士論文
