一括図形照射式電子ビーム描画装置の高精度化の研究

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著者

    • 早田, 康成 ソウダ, ヤスナリ

書誌事項

タイトル

一括図形照射式電子ビーム描画装置の高精度化の研究

著者名

早田, 康成

著者別名

ソウダ, ヤスナリ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第8659号

学位授与年月日

2003-03-25

注記・抄録

博士論文

14401乙第08659号

博士(工学)

大阪大学

2003-03-25

17985

0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000232007
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000232530
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004140108
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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