X線マスクの高精度化におけるX線吸収体材料に関する研究

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著者

    • 吉原, 拓也 ヨシハラ, タクヤ

書誌事項

タイトル

X線マスクの高精度化におけるX線吸収体材料に関する研究

著者名

吉原, 拓也

著者別名

ヨシハラ, タクヤ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第8661号

学位授与年月日

2003-03-25

注記・抄録

博士論文

14401乙第08661号

博士(工学)

大阪大学

2003-03-25

17987

1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000232009
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000232532
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004140120
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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