電子ビーム描画装置におけるビーム偏向高精度化技術の研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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電子ビーム描画装置におけるビーム偏向高精度化技術の研究
- Author
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伊藤, 博之
- Author(Another name)
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イトウ, ヒロユキ
- University
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大阪大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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乙第8662号
- Degree year
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2003-03-25
Note and Description
博士論文
