高周波マグネトロンスパッタ法による硬質酸化膜の諸特性とその評価に関する研究

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著者

    • 藤山, 博一 フジヤマ, ヒロカズ

書誌事項

タイトル

高周波マグネトロンスパッタ法による硬質酸化膜の諸特性とその評価に関する研究

著者名

藤山, 博一

著者別名

フジヤマ, ヒロカズ

学位授与大学

広島国際学院大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第2号

学位授与年月日

2003-03-07

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000232782
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000233311
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004166419
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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