多結晶薄膜のX線応力測定と強度評価に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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多結晶薄膜のX線応力測定と強度評価に関する研究
- 著者名
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伊藤, 登史政
- 著者別名
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イトウ, トシマサ
- 学位授与大学
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名古屋大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第5852号
- 学位授与年月日
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2003-03-25
注記・抄録
博士論文
多結晶薄膜のX線応力測定と強度評価に関する研究
伊藤, 登史政
イトウ, トシマサ
名古屋大学
博士 (工学)
甲第5852号
2003-03-25
博士論文
