多結晶薄膜のX線応力測定と強度評価に関する研究

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著者

    • 伊藤, 登史政 イトウ, トシマサ

書誌事項

タイトル

多結晶薄膜のX線応力測定と強度評価に関する研究

著者名

伊藤, 登史政

著者別名

イトウ, トシマサ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5852号

学位授与年月日

2003-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000233056
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000233587
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004178046
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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