メタン-SF6混合ガスを用いたプラズマCVD薄膜に関する研究

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著者

    • 松下, 雅樹 マツシタ, マサキ

書誌事項

タイトル

メタン-SF6混合ガスを用いたプラズマCVD薄膜に関する研究

著者名

松下, 雅樹

著者別名

マツシタ, マサキ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5889号

学位授与年月日

2003-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000233093
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000233624
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004178443
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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