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Study of electron properties of a capacitively coupled RF argon plasma by laser Thomson scattering レーザートムソン散乱法による容量結合型RFアルゴンプラズマ中の電子挙動の研究

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著者

    • Mansour Abd El Mgeid Mansour ElSabbagh マンソール エルサバーガ

書誌事項

タイトル

Study of electron properties of a capacitively coupled RF argon plasma by laser Thomson scattering

タイトル別名

レーザートムソン散乱法による容量結合型RFアルゴンプラズマ中の電子挙動の研究

著者名

Mansour Abd El Mgeid Mansour ElSabbagh

著者別名

マンソール エルサバーガ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士 (理学)

学位授与番号

甲第6480号

学位授与年月日

2003-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000233518
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000234053
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000004180899
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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