Studies on electrical properties of integrated ferroelectric capacitors and their degradation processes 集積化した強誘電体キャパシタの電気的諸特性とその劣化過程に関する研究

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著者

    • 嶋田, 恭博 シマダ, ヤスヒロ

書誌事項

タイトル

Studies on electrical properties of integrated ferroelectric capacitors and their degradation processes

タイトル別名

集積化した強誘電体キャパシタの電気的諸特性とその劣化過程に関する研究

著者名

嶋田, 恭博

著者別名

シマダ, ヤスヒロ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第11217号

学位授与年月日

2003-03-24

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000234664
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000235211
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000004199639
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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