Studies on electrical properties of integrated ferroelectric capacitors and their degradation processes 集積化した強誘電体キャパシタの電気的諸特性とその劣化過程に関する研究

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Author

    • 嶋田, 恭博 シマダ, ヤスヒロ

Bibliographic Information

Title

Studies on electrical properties of integrated ferroelectric capacitors and their degradation processes

Other Title

集積化した強誘電体キャパシタの電気的諸特性とその劣化過程に関する研究

Author

嶋田, 恭博

Author(Another name)

シマダ, ヤスヒロ

University

京都大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

乙第11217号

Degree year

2003-03-24

Note and Description

博士論文

0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000234664
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000235211
  • Text Lang
    • eng
  • NDLBibID
    • 000004199639
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
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