Studies on electrical properties of integrated ferroelectric capacitors and their degradation processes 集積化した強誘電体キャパシタの電気的諸特性とその劣化過程に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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Studies on electrical properties of integrated ferroelectric capacitors and their degradation processes
- Other Title
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集積化した強誘電体キャパシタの電気的諸特性とその劣化過程に関する研究
- Author
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嶋田, 恭博
- Author(Another name)
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シマダ, ヤスヒロ
- University
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京都大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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乙第11217号
- Degree year
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2003-03-24
Note and Description
博士論文