Optical and electrical properties of structural defects in amorphous silicon oxynitride and silicon nitride films 非晶質シリコン酸窒化膜およびシリコン窒化膜における構造欠陥の光学的ならびに電気的物性

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著者

    • 加藤, 宙光 カトウ, ヒロミツ

書誌事項

タイトル

Optical and electrical properties of structural defects in amorphous silicon oxynitride and silicon nitride films

タイトル別名

非晶質シリコン酸窒化膜およびシリコン窒化膜における構造欠陥の光学的ならびに電気的物性

著者名

加藤, 宙光

著者別名

カトウ, ヒロミツ

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第1750号

学位授与年月日

2003-03-15

注記・抄録

博士論文

制度:新 ; 文部省報告番号:甲1750号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:2003/3/15 ; 早大学位記番号:新3513

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000234801
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000235349
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000004204895
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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