Optical and electrical properties of structural defects in amorphous silicon oxynitride and silicon nitride films 非晶質シリコン酸窒化膜およびシリコン窒化膜における構造欠陥の光学的ならびに電気的物性
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Bibliographic Information
- Title
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Optical and electrical properties of structural defects in amorphous silicon oxynitride and silicon nitride films
- Other Title
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非晶質シリコン酸窒化膜およびシリコン窒化膜における構造欠陥の光学的ならびに電気的物性
- Author
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加藤, 宙光
- Author(Another name)
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カトウ, ヒロミツ
- University
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早稲田大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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甲第1750号
- Degree year
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2003-03-15
Note and Description
博士論文
制度:新 ; 文部省報告番号:甲1750号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:2003/3/15 ; 早大学位記番号:新3513
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