シンクロトロン放射光によるX線リソグラフィの研究 Research on X-ray lithography by synchrotron radiation

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著者

    • 豊田, 英二郎 トヨタ, エイジロウ

書誌事項

タイトル

シンクロトロン放射光によるX線リソグラフィの研究

タイトル別名

Research on X-ray lithography by synchrotron radiation

著者名

豊田, 英二郎

著者別名

トヨタ, エイジロウ

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第1767号

学位授与年月日

2003-03-06

注記・抄録

博士論文

制度:新 ; 文部省報告番号:乙1767号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:2003/3/6 ; 早大学位記番号:新3555

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000234916
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000235465
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000004205359
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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