Kinetic study of H-induced abstraction and desorption of hydrogen on Si surfaces Si表面での水素原子による吸着水素の引き抜きと脱離に関する動力学的研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Kinetic study of H-induced abstraction and desorption of hydrogen on Si surfaces
- タイトル別名
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Si表面での水素原子による吸着水素の引き抜きと脱離に関する動力学的研究
- 著者名
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Fouzia Khanom
- 著者別名
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フォージア カノム
- 学位授与大学
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九州工業大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第197号
- 学位授与年月日
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2003-03-25
注記・抄録
博士論文
九州工業大学博士学位論文 学位記番号:工博甲第197号 学位授与年月日:平成15年3月25日
平成14年度
