Experimental studies on electro- positive/negative plasmas produced by RF discharges with external antenna in low- pressure gases 低気圧電気的正性及び負性ガス中の外部アンテナ型高周波放電プラズマに関する実験的研究
この論文をさがす
著者
書誌事項
- タイトル
-
Experimental studies on electro- positive/negative plasmas produced by RF discharges with external antenna in low- pressure gases
- タイトル別名
-
低気圧電気的正性及び負性ガス中の外部アンテナ型高周波放電プラズマに関する実験的研究
- 著者名
-
Mihaila, Ilarion
- 著者別名
-
ミハイラ, イラリオン
- 学位授与大学
-
佐賀大学
- 取得学位
-
博士 (理学)
- 学位授与番号
-
甲第253号
- 学位授与年月日
-
2004-09-24
注記・抄録
博士論文