Study on spin-on antireflective coatings for thinner resist process in deep UV lithography レジスト薄膜化に対応したDeep UVリソグラフィー用塗布型反射防止膜に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Study on spin-on antireflective coatings for thinner resist process in deep UV lithography
- タイトル別名
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レジスト薄膜化に対応したDeep UVリソグラフィー用塗布型反射防止膜に関する研究
- 著者名
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佐藤, 康彦
- 著者別名
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サトウ, ヤスヒコ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第3707号
- 学位授与年月日
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2004-01-31
注記・抄録
博士論文