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半導体表面および表面薄膜のオージェ電子分光分析

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著者

    • 小田, 哲治 オダ, テツジ

書誌事項

タイトル

半導体表面および表面薄膜のオージェ電子分光分析

著者名

小田, 哲治

著者別名

オダ, テツジ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3959号

学位授与年月日

1976-03-29

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000298275
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000299081
  • NDL書誌ID
    • 000007731457
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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