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複数誘電体窓を有する表面波プラズマ装置における電子密度空間分布制御に関する研究

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著者

    • 鳥羽, 孝幸 トバ, タカユキ

書誌事項

タイトル

複数誘電体窓を有する表面波プラズマ装置における電子密度空間分布制御に関する研究

著者名

鳥羽, 孝幸

著者別名

トバ, タカユキ

学位授与大学

東京大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第19009号

学位授与年月日

2004-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000299432
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000300245
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000007734654
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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