Diamond-like carbon films deposition on inner wall surface of microextrusion dies by pulse plasma CVD マイクロ押出し金型内面へのパルスプラズマCVDによるダイヤモンド状炭素膜の合成
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著者
書誌事項
- タイトル
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Diamond-like carbon films deposition on inner wall surface of microextrusion dies by pulse plasma CVD
- タイトル別名
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マイクロ押出し金型内面へのパルスプラズマCVDによるダイヤモンド状炭素膜の合成
- 著者名
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楊, 旭東
- 著者別名
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ヤン, シイウドン
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第6065号
- 学位授与年月日
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2005-03-26
注記・抄録
博士論文