A study on functionality characterization of thin-film resist and relating materials for emerging lithography 先端リソグラフィにおける薄膜レジスト及び関連材料の機能性評価に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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A study on functionality characterization of thin-film resist and relating materials for emerging lithography
- タイトル別名
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先端リソグラフィにおける薄膜レジスト及び関連材料の機能性評価に関する研究
- 著者名
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佐藤, 充
- 著者別名
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サトウ, ミツル
- 学位授与大学
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長岡技術科学大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第387号
- 学位授与年月日
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2006-08-31
注記・抄録
博士論文
