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Study of RF MEMS switches using PZT thin films for high isolation and low voltage actuation PZT積層膜を用いたRF MEMSスイッチの研究 : 高信号隔離特性および低電圧駆動設計

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著者

    • 曹, 俊杰 ソウ, シュンケツ

書誌事項

タイトル

Study of RF MEMS switches using PZT thin films for high isolation and low voltage actuation

タイトル別名

PZT積層膜を用いたRF MEMSスイッチの研究 : 高信号隔離特性および低電圧駆動設計

著者名

曹, 俊杰

著者別名

ソウ, シュンケツ

学位授与大学

東京大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第20712号

学位授与年月日

2005-09-30

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000357024
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000358152
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000008476529
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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