Thermodynamic study of new vapor phase epitaxy systems of the group 3 nitrides 熱力学解析を用いた新しい3族窒化物気相成長法の探索
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著者
書誌事項
- タイトル
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Thermodynamic study of new vapor phase epitaxy systems of the group 3 nitrides
- タイトル別名
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熱力学解析を用いた新しい3族窒化物気相成長法の探索
- 著者名
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菊地, 潤
- 著者別名
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キクチ, ジュン
- 学位授与大学
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東京農工大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第500号
- 学位授与年月日
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2007-03-26
注記・抄録
博士論文