Fabrication and in-situ analysis of iron and iron silicide microstructures using low energy electron beam 低エネルギー電子ビームを用いた鉄および鉄シリサイド微細構造の作製と分析
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著者
書誌事項
- タイトル
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Fabrication and in-situ analysis of iron and iron silicide microstructures using low energy electron beam
- タイトル別名
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低エネルギー電子ビームを用いた鉄および鉄シリサイド微細構造の作製と分析
- 著者名
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掛札, 洋平
- 著者別名
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カケフダ, ヨウヘイ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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博士 (科学)
- 学位授与番号
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甲第21729号
- 学位授与年月日
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2006-06-30
注記・抄録
博士論文